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更新时间:2022-11-28

访问量:497

厂商性质:代理商

生产地址:

简要描述:
VP-R系列真空等离子清洗机对标国际品牌,填补国内技术空白(专li:低温真空石英腔体等离子清洗装置),VP-R系列频率13.56MHz,能对材料起到清洁、刻蚀、活化、改性的作用,满功率运行30分钟,腔体温度不高于32℃,不损伤样品,适用于微流控芯片PDMS键合、ITO导电玻璃、石墨烯、纤维、单晶硅片、PET、二氧化硅等几乎所有材料的PLASMA处理。

VP-R系列真空等离子清洗机

VP-R系列真空等离子处理仪对标国际品牌,填补国内技术空白(专li:低温真空石英腔体等离子清洗装置),VP-R系列频率13.56MHz,能对材料起到清洁、刻蚀、活化、改性的作用,满功率运行30分钟,腔体温度不高于32℃,不损伤样品,适用于微流控芯片PDMS键合、ITO导电玻璃、石墨烯、纤维、单晶硅片、PET、二氧化硅等几乎所有材料的PLASMA处理。


VP-R系列真空等离子清洗机特点

 

VP-R系列真空等离子清洗机优势

01 Better Reliability,Better Operation

内置两路气路,气体流量可调,无需再搭配气体混合仪

zuan利软件、操作简易,智能化设计,避免误操作

采用数字显示压力,实时观察腔体压力变化情况

中英文操作系统,触摸屏控制,人机界面友好

电流、电压实时监测,确保仪器稳定安全运行

清洗时长可在触摸屏设置,等离子处理时间精确到秒(s)

PLASMA处理结束后,自动泄压,泄压时长和大小可调;可通入氮气泄压

功率高、中、低三挡可调

02对标国际yi线品牌,填补国内技术空白

国内shou创,13.56MHz频率用于PLASMA处理

性能bi肩国际一线产商,在控制自动化,人性化设计方面国际领xian

通入气体和泄压是独立通道互不干扰;自动泄压比手动泄压更方便

腔体低温,满功率运行30分钟腔体温度不高于32°C,不损伤样品

腔体材质为石英,不与等离子体反应,保证样品不被污染

13.56MHz等离子体处理对材料既有清洁、刻蚀、也有活化改性作用

等离子体从腔体四周发出,对样品处理更均匀、更彻底

03细节把控,给用户更好体验

石英材质真空腔体不与等离子体产生反应,不会污染样品

配备的真空泵噪音和油气污染小,真空度高

真空泵与主机联动,可在触摸屏控制真空泵开启/关闭

1.5米不锈钢波纹管,比橡胶管更耐用,密封性更好

标配清洗托盘,方便使用

安捷伦Agilent干泵(选配),避免油气污染

OF-20油污过滤器(选配),避免排气口油气对实验室环境的污染

04经典清洗案例分析

石墨烯粉末清洗、改性,去除粉末杂质和油质,增加石墨烯表面亲水基团(-OH)提高亲水性

金属工件油污等离子清洗,不损伤样品,去除表面油污

PDMS等离子活化改性,提升亲水性和键合力

ITO导电玻璃亲水性处理并提高其功函数

二维材料的清洁、刻蚀

硅片亲水性处理,改性、活化表面

05石墨烯粉末VP-R3亲水性处理XPS谱图分析

处理前石墨烯粉末溶于蒸馏水,会粘在瓶壁上

处理后石墨烯粉末上下摇匀后,不会粘在瓶壁

处理前石墨烯粉末很快下沉到瓶底,肉眼可见分层明显

处理后石墨烯粉末悬浮在水体,说明其亲水性增强

绿色曲线为处理前的XPS谱图,曲线一直都是平稳走向

红色曲线为处理后的XPS谱图,曲线在285eV左右有个峰值,

可知石墨烯粉末的性质已改变

处理后石墨烯导热率可提高40%,稳定性增强

06 ITO导电玻璃等离子VP-R3处理接触角测量仪分析

CM-180接触角测定可知,未处理ITO接触角为80°C,处理后ITO接触角48°C,亲水性明显增强

处理前平均接触角、右接触角和左接触角三条曲线分离,处理后三条曲线重合,说明ITO表面更平整

VP-R系列满功率运行30分钟腔体温度低于32°C,非常适合ITO导电玻璃不耐热属性

通入氧等离子体时,可以提高ITO导电玻璃的功函数


VP-R系列真空等离子清洗机技术规格

 

型号

VP-R手动版

VP-R3

VP-R5

VP-R10

腔体材质

石英玻璃

腔体容量

2L

3L

5L

10L

内腔尺寸

Φ100x200Lmm

Φ150x200Lmm

Φ150x270Lmm

Φ200x320Lmm

射频功率

160W/200W(高功率版)

射频频率

13.56MHz

RF放射

频率偏移量

小于0.2KHz

等离子体轰击

从四周向中间

等离子体激发

延时自动启动

腔体温度

满功率运行30分钟腔体温度<32℃

清洗时间

手动设置

0 - 1800S 可调

功率调节

高、中、低三挡

高、中、低三挡可调

显示屏

4.3寸触摸屏

操作控制

手动控制

提供中英文操作界面,触摸屏控制(设置清洗时间)

气体流量计

高精密2路浮子流量计

提供进气气路

一路进气,进气可调

两路进气,流量 0-300ml/min可调(常用气体:氩气,氧气,氮气,氢气,氨气等其他混合气体)

进气管

一根6x4PU管

两根6x4PU管,尾端配6转10快拧接头

泄压

手动开关泄压,泄压速度可调

等离子处理结束,自动泄压,泄压时长可调。可提供氮气或其他气体泄压通道(选配)

真空泵极限真空度

5x10?²Pa

噪音

≤56dB

抽真空时间

启动到发出辉光≤35秒(时间可调)

≤55秒(时间可调)

真空检测

数字显示

冷却方式

风冷

腔体门

带可视窗铝合金

传感器识别开/关,带可视窗高强度铝合金

真空泵控制

主机与真空泵联动

主机与真空泵自动联动并可在触摸屏上控制真空泵开启/关闭

供电电源

AC220V/50Hz

箱体平衡

减震橡胶脚杯

外形尺寸(LxWxH)

420x420x320mm

560x450x360mm

650x500x475mm

订购信息

标准配置

主机、真空泵、1.5米波纹管、两路/一路(手动版)进气管、清洗托盘、六角工具、说明书、合格证、保修卡

选配件

1、油污过滤器 2、高硼硅圆形托盘 3、干性真空泵(防止油气挥发,高洁净实验室适用)



 

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